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氟氮混合气的生(sheng)产过(guo)程比较复(fu)杂,工艺技(ji)术难度(du)大,且由(you)于氟(fu)气(qi)是强氧化剂,生(sheng)产过(guo)程中对环境、设备(bei)、控制、安(an)防的要(yao)求较高(gao),氟(fu)氮混(hun)合气(qi)生(sheng)产分为氟(fu)气(qi)提纯和混(hun)合充(chong)装两个步(bu)骤。

氟(fu)(fu)氮(dan)混(hun)合气(qi)应用范围(wei)和前景极(ji)其广阔(kuo),是原(yuan)子(zi)能工业、含氟(fu)(fu)电子(zi)特气(qi)、氟(fu)(fu)化石墨(mo)、多(duo)种(zhong)氟(fu)(fu)化物、医药(yao)中间体等的(de)原(yuan)料(liao)。同时(shi)还是一些特殊材(cai)料(liao)表面改性(xing)的(de)理想材(cai)料(liao)。

作为当今理想的蚀刻气体(ti)之一且氟气不会造成(cheng)温(wen)室效应,被应用于集成(cheng)电路和各种电子元器件的生产,半(ban)导体(ti)制造工艺中CVD腔室的清洗,在半(ban)导体(ti)领(ling)域极具市场潜(qian)力。