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三氟化氯(chlorine trifluoride)是(shi)无机化合物 ,分(fen)子式为(wei)ClF₃,分(fen)子量为(wei)92.45。有毒(du),有强腐蚀性(xing),常(chang)温下为(wei)无色气体,降温变为(wei)绿色液体。

可用(yong)作(zuo)氟(fu)化(hua)剂(ji)、燃烧剂(ji)、推进(jin)剂(ji)中的(de)(de)氧化(hua)剂(ji)、高温金属的(de)(de)切割(ge)油等(deng)。在半(ban)导(dao)体工业(ye)中,三氟(fu)化(hua)氯(lv)被(bei)用(yong)于(yu)清(qing)(qing)洁化(hua)学(xue)气相(xiang)沉(chen)积的(de)(de)反应(ying)舱。它具有不(bu)需(xu)(xu)拆卸反应(ying)舱就可以(yi)清(qing)(qing)除(chu)舱壁(bi)附(fu)着(zhe)的(de)(de)半(ban)导(dao)体物质这一优点。与(yu)其(qi)它代替的(de)(de)清(qing)(qing)洁剂(ji)不(bu)同,三氟(fu)化(hua)氯(lv)在使(shi)用(yong)前不(bu)需(xu)(xu)经过等(deng)离子体激化(hua),因(yin)为反应(ying)舱残存的(de)(de)热量就足以(yi)使(shi)它分解并与(yu)半(ban)导(dao)体材料反应(ying)。