开云真人(中国)有限责任公司

新闻资讯

氮氢混合气在电子器件中的应用

发(fa)布时间(jian):2020-08-03 | 游览:2278

内(nei)容摘(zhai)要:高(gao)纯(chun)(chun)气(qi)(qi)体广泛用(yong)于电子器件(jian)生产(chan)工艺(yi)中(zhong)。按工艺(yi)中(zhong)高(gao)纯(chun)(chun)度气(qi)(qi)体的不同(tong)用(yong)途,可将其分为(wei)(wei)保护气(qi)(qi)、反应气(qi)(qi)和(he)载气(qi)(qi),用(yong)作保护气(qi)(qi)的有氢气(qi)(qi)、氮气(qi)(qi)、氧气(qi)(qi)及(ji)其混合(he)气(qi)(qi)。在国内为(wei)(wei)获(huo)取氢气(qi)(qi)和(he)氨气(qi)(qi),为(wei)(wei)获(huo)得较高(gao)纯(chun)(chun)度的氢气(qi)(qi),一(yi)般都(dou)采用(yong)电解纯(chun)(chun)水的方法(fa)制取。这种方法(fa)需用(yong)大量(liang)电能来电解水,一(yi)般达4.5~5.5kWh/Nm3H2,致使(shi)成本很高(gao)。

高(gao)(gao)纯气(qi)(qi)体广(guang)泛(fan)用(yong)于电(dian)子器件生产工(gong)艺中。按工(gong)艺中高(gao)(gao)纯度(du)气(qi)(qi)体的不同用(yong)途,可将其(qi)分为(wei)保护(hu)气(qi)(qi)、反(fan)应(ying)气(qi)(qi)和载气(qi)(qi),用(yong)作保护(hu)气(qi)(qi)的有氢(qing)气(qi)(qi)、氮气(qi)(qi)、氧气(qi)(qi)及其(qi)混合(he)气(qi)(qi)。在国内为(wei)获(huo)取氢(qing)气(qi)(qi)和氨气(qi)(qi),为(wei)获(huo)得较高(gao)(gao)纯度(du)的氢(qing)气(qi)(qi),一般(ban)(ban)都采用(yong)电(dian)解纯水的方法制(zhi)取。这种(zhong)方法需用(yong)大量电(dian)能(neng)来电(dian)解水,一般(ban)(ban)达4.5~5.5kWh/Nm3H2,致使(shi)成本很高(gao)(gao)。

为减(jian)少(shao)电能消耗(hao),降低成(cheng)本,都在(zai)研制和应(ying)用(yong)各种混(hun)合气。其(qi)中,氮(dan)(dan)氢(qing)混(hun)合气将(jiang)成(cheng)为电子器件(jian)生产应(ying)用(yong)中的(de)“福音”。以(yi)应(ying)用(yong)氮(dan)(dan)氢(qing)混(hun)合气居多。国外多采用(yong)液(ye)态(tai)氢(qing)和液(ye)态(tai)氮(dan)(dan)汽(qi)化(hua)法(fa)获(huo)得氮(dan)(dan)氢(qing)混(hun)合气,也有(you)采用(yong)液(ye)氮(dan)(dan)分解法(fa)获(huo)得氮(dan)(dan)氢(qing)混(hun)合气的(de)。

用(yong)液(ye)(ye)氢和液(ye)(ye)氮(dan)汽(qi)化(hua)(hua)来(lai)获得(de)(de)(de)氮(dan)氧(yang)(yang)混(hun)合(he)气的(de)(de)(de)(de)(de)方法(fa),由(you)于(yu)(yu)采用(yong)了(le)液(ye)(ye)化(hua)(hua)后再汽(qi)化(hua)(hua)的(de)(de)(de)(de)(de)工艺,故其投资和成(cheng)本(ben)均较高(gao)。国(guo)外,由(you)于(yu)(yu)生(sheng)产的(de)(de)(de)(de)(de)专业(ye)(ye)化(hua)(hua)程度高(gao),使(shi)用(yong)单位多采用(yong)这种方法(fa)获得(de)(de)(de)混(hun)合(he)气。国(guo)内若从专业(ye)(ye)厂(chang)或大(da)型联合(he)企业(ye)(ye)的(de)(de)(de)(de)(de)副产物获得(de)(de)(de)液(ye)(ye)氢和液(ye)(ye)氮(dan),其成(cheng)本(ben)要比电解氢和“空分(fen)”氮(dan)获得(de)(de)(de)的(de)(de)(de)(de)(de)氢气与氯气高(gao)出几倍。由(you)液(ye)(ye)氨分(fen)解获得(de)(de)(de)的(de)(de)(de)(de)(de)氮(dan)氧(yang)(yang)混(hun)合(he)气,由(you)于(yu)(yu)液(ye)(ye)氮(dan)来(lai)源不同(tong),大(da)多数质(zhi)量较差,其中仍含(han)有未(wei)分(fen)解的(de)(de)(de)(de)(de)氨、水和氧(yang)(yang)等(deng)杂质(zhi)。此外,液(ye)(ye)氮(dan)多来(lai)源于(yu)(yu)化(hua)(hua)肥(fei)厂(chang),目前,供应上较紧张(zhang),故成(cheng)本(ben)也较高(gao)。

氮氢混合气不仅可(ke)在生(sheng)产电子器(qi)件时取代氧气用(yong)(yong)作保护(hu)气,还可(ke)广(guang)泛用(yong)(yong)于冶金、化(hua)工、机械等行业。一旦广(guang)泛推广(guang)应用(yong)(yong),必将产生(sheng)可(ke)观的(de)经济(ji)效(xiao)益(yi)和社会效(xiao)益(yi)。